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氮化硅设备

北方华创12英寸氮化硅LPCVD获突破，进入中国IC制造

2020年4月20日氮化硅 (Si 3 N 4) 薄膜是一种应用广泛的介质材料。作为非晶绝缘物质，氮化硅膜的介质特性优于二氧化硅膜，具有对可动离子阻挡能力强、结构致密、针孔密度 THEORIS SN302D主要用于12英寸晶圆上的氮化硅薄膜低压化学气相沉积工艺，可覆盖高、低温氮化硅薄膜沉积。该机台可进行全自动工艺流程，系统主要由传输模块、工艺模块 12英寸立式低压化学气相沉积氮化硅炉产品管理 2020年4月29日氮化硅是一种化合物（Si3N4，SiN），具有出色的机械和热稳定性。它通常用于硬掩膜、电介质材料或钝化层。氮化硅的性质非常坚硬，具有良好的抗热震性和氮化硅薄膜 SVM氮化硅 (Si 3 N 4 )是一种由硅和氮组成的共价键化合物,1857 年被发现,到 1955 年,其作为陶瓷材料实现了大规模生产 [1]。氮化硅陶瓷具有金属材料和高分子材料所不具备的众多优氮化硅陶瓷在四大领域的研究及应用进展 CERADIR 先进

氮化硅精密陶瓷（高级陶瓷）京瓷 KYOCERA

氮化硅氮化硅主要由Si3N4组成，耐热冲击性极强和高温强度极佳。这些特性使其成为汽车发动机和燃气轮机中的理想材料。它可用被应用于涡轮增压器转子、柴油发动机中的发热插头和带电插拔中，还被用于很多其它不氮化硅陶瓷元件具有优良的机械性能、热性能、电性能和化学性能，广泛应用于各个领域。例如Si3N4陶瓷是制备各种应用陶瓷基板的优良材料。以下是一些常见的应用，供参考：氮化硅陶瓷特性及应用英诺华 INNOVACERA氮化硅（Si3N4）有很好化学稳定性,除不耐氢氟酸和浓NaOH 侵蚀外,可耐所有的无机酸和某些碱溶液、熔融碱和盐的腐蚀氮化硅正常铸造温度下对很多金属是稳定的,不受浸润或腐加工氮化硅陶瓷需要用到什么加工设备？知乎氮化硅陶瓷是一种高性能工程陶瓷材料，由氮化硅（Si₃N₄）组成，具有卓越的物理和化学性质。其高抗拉强度和硬度使其在高负载、高冲击应力和高磨损环境下表现出色，适用于氮化硅陶瓷英诺华 INNOVACERA